微分干涉金相显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的。作为金相显微镜用户在使用时能够体验其性能,可广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件/金属/陶瓷部件、精密模具的检测,可观察较厚的标本。稳定、高品质的光学系统使成像更清晰,衬度更好。符合人机工程学要求的设计,使您在工作中感到舒适和放松。
技术规格
观察头 30°铰链式三目(50mm-75mm)
目镜 WF10×/25mm
WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板
物镜 平场无限远长工作 距离明暗场物镜:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、
10×/0.25B.D/W.D.16mm、 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 、
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
转换器 带DIC插孔五孔转换器
平台 双层移动平台
平台尺寸: 190mm×140mm
移动范围:50mm×40mm
滤色片 插板式滤色片(绿、蓝、中性)
调焦 粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm
光源 带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/50W, AC85V-230V,亮度可调节
偏光装置 检偏镜可360度转动,起偏镜、 检偏镜均可移出光路
检测工具 0.01mm测量尺
可供附件 二维测量软件
金相图像分析软件
卤素灯12V/100W
测微目镜
130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜
平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
精密载物台:X-Y行程25mm×25mm,移动精度<5um,数显手轮小值:0.1um,360°旋转盘
摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
DIC(10×、20×、40×、100×)
压平机
彩色1/3寸CCD 520条线
特点说明
1. UIS无限远光学系统。
2. 采用长寿命卤素灯光源的,光效率更高。
3. 明暗场、偏光、微分干涉功能。
4. 采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
5. WF10×(Φ25)超大视野目镜、长工作距离明暗场金相物镜。
6. 可插DIC微分干涉装置的五孔转换器。
DIC:用诺曼斯基微分干涉衬比法观察,现己被认为检验材料、金属和半导体结构不可缺少的手段。