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该技术的主要特征为:利用低能X光激发待测元素,对Si、S、Al、Na、Mg等轻元素有良好的激发效果,并且测试时间短,大大提高了检测效率和工作效率:采用UHRD探测器,具有良好的能量线性和能量分辨率,及良好的能谱特性,较高的峰背比;采用自动稳谱装置,了仪器工作的一致性:利用解谱技术使谱峰分解,使采用UHRD探测器的分析仪对Si、S、AI等轻元素的测试具有好的分析精度;采用多参数的线性回归方法,使元素间的吸收、排斥效应得到明显的降低。