LED系列-全自动有机清洗台
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式;
※ 清洗规格: 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 设备形式: 室内放置型;
※ 尺寸(参考,含地脚):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000 1000 mm(H);
※ 工艺说明:全程机械传动,自动方式实现槽体间传送工件全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,产品性能的一致性;
※ 腐蚀工艺自动补药液了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
※ 机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
※ 机械臂的横向移动和纵向提升均采用伺服马达,闭环控制,定位精度≤0.3mm,性高;
※ 采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳。
※ 为确保清洗工艺和机械手的使用寿命,机械手由多种工业材料和特殊的表面处理构成。